近日,由江蘇省石墨烯產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)合體主導(dǎo)建設(shè)的石墨烯二維半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室正式竣工并投入使用。該實(shí)驗(yàn)室聚焦石墨烯與二維半導(dǎo)體材料的創(chuàng)新研發(fā),重點(diǎn)攻克二維材料的生長(zhǎng)、轉(zhuǎn)移、異質(zhì)結(jié)構(gòu)筑等關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題,致力于推動(dòng)石墨烯材料在電子信息及集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用。
在硬件配置方面,實(shí)驗(yàn)室配備了一系列國(guó)際領(lǐng)先的大型精密儀器,核心設(shè)備包括可實(shí)現(xiàn)原子級(jí)精度觀測(cè)的透射電子顯微鏡(TEM)、高分辨率原子力顯微鏡(AFM)、拉曼光譜儀(Raman)、掃描電子顯微鏡(SEM)、霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)等尖端儀器,為材料分析與器件開發(fā)提供全方位支持,設(shè)備總價(jià)值超過(guò)2000萬(wàn)元。
目前,實(shí)驗(yàn)室承擔(dān)了江蘇省2023年重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃(產(chǎn)業(yè)前瞻與關(guān)鍵核心技術(shù))項(xiàng)目“晶圓級(jí)石墨烯類二維半導(dǎo)體材料及其在邏輯和光源器件應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)研究”,并獲得1500萬(wàn)元專項(xiàng)資金支持。該項(xiàng)目聚焦石墨烯類二維材料在邏輯器件與光電器件開發(fā),已與南京大學(xué)、東南大學(xué)、中科院蘇州納米所等高校及科研院所建立聯(lián)合攻關(guān)機(jī)制,旨在打造“產(chǎn)學(xué)研用”深度融合的創(chuàng)新生態(tài),加速技術(shù)成果轉(zhuǎn)化。
未來(lái),實(shí)驗(yàn)室將積極對(duì)接國(guó)家戰(zhàn)略需求,深化與國(guó)內(nèi)外頂尖科研機(jī)構(gòu)和行業(yè)龍頭企業(yè)的合作與交流,構(gòu)建開放共享的創(chuàng)新平臺(tái)。通過(guò)聯(lián)合攻關(guān)、技術(shù)交流與成果轉(zhuǎn)化,實(shí)驗(yàn)室將全力推動(dòng)石墨烯二維半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展和創(chuàng)新,為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)更多力量。
石墨烯二維半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室的啟用,標(biāo)志著江蘇省石墨烯產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)合體在新型半導(dǎo)體材料研發(fā)領(lǐng)域邁出了重要一步,將為我國(guó)突破高端芯片技術(shù)瓶頸提供關(guān)鍵支撐。